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當(dāng)前位置:首頁 - 產(chǎn)品中心
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、不添加氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)高濃度400G/M3(N)臭氧生成
2、可搭載于19英寸機(jī)架
3、小流量到大流量的豐富選型
4、高耐壓,長(zhǎng)壽命的高可靠性放電單元
5、快速啟動(dòng)以及精準(zhǔn)的濃度響應(yīng)性能
6、連接濃度儀實(shí)現(xiàn)濃度的高穩(wěn)定性(反饋控制)
7、CE·NRTL認(rèn)證,適用SEMI標(biāo)準(zhǔn)
8、氣體管道材料可選:316LSS OR PFE

性能表

規(guī)格

臭氧流量

1L/min 24L/min210g/m3(N)時(shí)〕

臭氧供給壓力

max.0.15MPa

冷卻水溫度

20℃±2℃

外形尺寸

W483mm×D453mm×H266mm

重量

3045kg電源 AC200V 3

電源

AC200V 3